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詳細(xì)摘要： 超高靈敏度氦質(zhì)譜檢漏儀采用相對(duì)法和累積法，可檢漏率3×10-15Pa·m3/s ，可有效滿足真空壽命及可靠性要求較高的真空電子器件測(cè)試要求。